Festo представи нов контролер за дебит за електронната индустрия

Festo представи контролер за дебит, който се използва в система за заместване на кислорода с инертен азот при транспорта и съхранението на полупроводникови пластини, за да се предотврати окислението им.

"Системата за заместване на кислорода с инертен азот е съобразена с изискванията на съвременното производство на полупроводници - както ограниченото пространство в производствената зона, така и строгите изисквания за качество на експлоатационното оборудване. Решението от Festo също така предлага предимства като достъпен процеси на поръчка и експлоатация, които отговарят на изискванията за разходна ефективност, свързани с кратките иновационни цикли в микроелектронното производство", обясниха от компанията.

Разходите за асемблиране и свързване към тръбопроводната система, както и времето за тестване, са намалени, тъй като потребителят получава предварително сглобено функциониращо решение вместо няколко отделни компонента. Елиминират се разходите за допълнителна тръба от неръждаема стомана с фитинги. Контролерът за дебит може също да бъде интегриран в надземна система за безопасен транспорт на пластини.

Дизайнът на пиезо вентила намалява риска от замърсяване в газовия поток, причинен от абразия на частиците, през целия експлоатационен живот. Пиковата стойност е приблизително за частица с размер 0,1 микрометра на цикъл на превключване. Конвенционалните решения генерират пет пъти повече от съдържанието на частиците. Използваната пиезо технология предотвратява износването поради триене, като по този начин значително удължава експлоатационния живот на вентила.

Компактният контролер за дебит има само две пневматични съединения, което намалява риска от течове, а консумацията на енергия е под 1 W. И в двата случая това е 80% по-малко, отколкото при конвенционалните решения като например пропорционални регулатори. Затвореният управляващ контур осигурява точно, стабилно и линейно поведение на скоростта на потока - без хистерезис. Точността на повторение е +/-0,25% от зададената стойност.
 

Ключови думи: Festo   Фесто   контролер за дебит   електронна индустрия